半导体测试仪
【基础信息】
制造厂商：吉时利Keithley
购置日期：2021年12月1日
设备型号：4200A-SCS/屏蔽暗箱
【分类信息】
设备类型：电学测试平台
【联系信息】
设备负责人：尤淳瑜
设备地址：先进材料楼413
联系邮箱：19110300007@fudan.edu.cn
【功能信息】
主要功能：使用4200A-SCS参数分析仪（参数测试仪）加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析
主要技术指标：直流电流-电压 (I-V) 范围：10 aA - 1A/0.2 µV - 210 V
可搭配附件：探针台