原子层沉积系统

【基础信息】

制造厂商：江苏迈纳德微纳技术有限公司

购置日期： 2022年10月

设备型号：MNT-ES200-L2S2

【分类信息】

设备类型：薄膜沉积

【联系信息】

设备负责人： 王金龙

设备地址：先进材料楼413实验室

联系邮箱：21110300058@m.fudan.edu.cn

【功能信息】

主要功能：薄膜沉积

主要技术指标：Al₂O₃ 

可搭配附件：椭偏仪