离子溅射台
【基础信息】
制造厂商：北京博远微纳科技有限公司
购置日期： 2022年10月17日
设备型号：SD-900
【分类信息】
设备类型：小型离子溅射仪
【联系信息】
设备负责人：王金龙
设备地址：先进材料楼413实验室
联系邮箱：21110300058@m.fudan.edu.cn
【功能信息】
主要功能：
通过离子溅射技术进行样品表面镀膜，适用于样品表面处理、导电镀膜等操作，广泛用于扫描电子显微镜（SEM）样品的制备。
主要技术指标：
真空度：可达 10^-3 Pa 或更低；
溅射电流范围：0-30 mA；
镀膜厚度控制精度：±5 nm。
可搭配附件：
真空泵，镀膜材料靶，样品台加热组件。