复旦大学义乌研究院材料平台石建军教授课题组对PEALD新型匀气设备申请实用新型专利

9月25日，等离子体科学与先进装备石建军课题组，与江苏迈纳德微纳技术有限公司对PEALD的反应腔的匀气盘进行结构性优化和再设计，对匀气盘孔洞分布进行不同功能细化分区设计，设计双层结构性匀气盘，对仿真结果有着极大的均匀度改善。根据相关成果申请实用新型专利。